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    设备简介使用激光能量推动硼、磷原子扩散,仅在金属栅线与硅片接触区域实现重掺杂,在其他区域保持轻掺杂,从而实现选择性发射极结构,形成良好的欧姆接触,提高电池转化效率。
    技术参数
    technical parameter
    磷硼激光掺杂设备
    设备性能

    规格参数

    运行模式

    离线生产模式

    适用电池尺寸

    兼容 230*230mm 及以下尺寸

    图形精度

    ±15μm

    对准精度

    ±15μm

    设备产能

    182*182mm ≥ 8400pcs/h(栅线数量 <132)210*210mm ≥ 7300pcs/h(栅线数量 <152)

    碎片率

    ≤ 0.02%

    工艺提效

    > 0.3%

    设备尺寸 L*W*H

    3500*2900*2500mm

    应用领域
    application area
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