参数值
3s -12s
±3 ~ ±5μm@3σ
±0.5°@3σ
0.15×0.15mm-5×5mm( 根据产品需更换镜头 )
0.076-1mm(3-40mil,标准)最薄到 0.05mm(2mil,选配)
长:100-300mm;宽:40-90mm(40 以下选配定制)高:0.1-0.8mm(标准)0.8-2.0mm(选配)
根据产品由客户提供
兼容 6 寸晶圆(2inch、4inch 华夫盒
±15° 范围
360°
20-300g
40-90mm
256 灰度级 / 寻边
1920pixel×2560pixel
5M(1920×2560pixel) FOV(16mm;×1,×2,×4)
±0.1°
W:1630mm;H:1160mm;D:1500mm( 具体以实物为准 )
1200KG ( 具体以实物为准 )