参数值
15K/h
±15 ~ ±25μm@3σ
±1°@3σ
0.15×0.15mm-25×25mm
0.076-1mm（3-40mil，标准）最薄到 0.05mm（2mil，选配）
长：100-300mm；宽：40-120mm（40 以下选配）；高：0.1-0.8mm（标准）0.8-2.0mm（选配）
110-310mm×20-110mm×70-153mm（L×W×H）
兼容 12 寸 ~6 寸晶圆
±10° 范围
360°
20-300g
40-120mm
256 灰度级
1920pixel×2560pixel
5M（1920×2560pixel） FOV（16mm；×1,×2,×4）
±0.1°
2250×1650×1750mm（L×W×H）（具体以实物为准）
1600KG（具体以实物为准）
